潔凈室技術是為滿足實驗研究和產品加工的精密、小型化、高純度、高質量和高可靠性的要求而誕生的新技術。潔凈室的概念起源于19世紀60年代的歐洲醫學，當時僅限于處置室、手術室等滅菌處理的工作環境，可以控制噴灑消毒后傷口的感染率。

二戰期間，美國制造的用于飛機導航的氣浮陀螺儀。

50年代初朝鮮半島戰爭期間，電子元器件質量不穩定，美國關閉了生產車間，收效甚微。

1951年，高效空氣過濾器研制成功并應用于生產車間的送風過濾，潔凈室真正誕生了。

1961年，Whitefield提出層流(現單向流)方案，并應用于實際工程，潔凈室達到了前所未有的更高潔凈度水平。同年，美國發布了第一個潔凈室標準，并于1963年將潔凈室分為三級。

60年代中期，潔凈室在軍工、電子、光學、微型軸承等工業部門的應用得到推廣。

70年代初，潔凈室建設的重點轉移到醫療、制藥、食品等行業。