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潔凈車間技術(shù)的應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間:2022-04-04人氣:632

潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù)一直是潔凈室設(shè)計(jì)中關(guān)注的問題。隨著潔凈室污染源控制效果和最終過濾器效率的提高,關(guān)于相關(guān)規(guī)范和導(dǎo)則的推薦值或參考值是否偏于保守的討論已有很多。FFU在應(yīng)用中人們所擔(dān)心的噪音、損壞、維護(hù)等問題在實(shí)踐中得到了解決。隨著FFU的不斷提高,是否采用FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是一個(gè)熱點(diǎn):懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子和IC行業(yè)已經(jīng)越來越被提上日程并受到關(guān)注。以下是對這些問題的總結(jié)和分析。


在具有一定潔凈度的潔凈室中,氣流速度的確定隨著潔凈室的使用而變化。它不僅受室內(nèi)粉塵排放和過濾效率的影響,還受其他因素的影響。就工業(yè)潔凈室而言,影響潔凈度和氣流速度選擇的主要因素有:

(1)室內(nèi)污染源:建筑構(gòu)件、人員數(shù)量和操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料和工藝本身都是塵粒釋放的來源,根據(jù)具體情況變化較大;

(2)室內(nèi)氣流形態(tài)和分布:單向流動要求流線均勻、均等,但會受到工藝設(shè)備的布置和位置變化、人員活動等因素的干擾。形成局部渦流;非單向流動需要填充和混合,以避免死角和溫度分層。

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