四川潔凈室工程技術(shù)的應(yīng)用，潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù)一直是潔凈室設(shè)計(jì)中關(guān)注的問題。隨著潔凈室污染源控制效果和最終過濾器效率的提高，關(guān)于相關(guān)規(guī)范和導(dǎo)則的推薦值或參考值是否偏于保守的討論已有很多。FFU在應(yīng)用中人們所擔(dān)心的噪音、損壞、維護(hù)等問題在實(shí)踐中得到了解決。

隨著FFU的不斷提高，是否采用FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是一個(gè)熱點(diǎn)：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子和IC行業(yè)已經(jīng)越來越被提上日程并受到關(guān)注。以下是對(duì)這些問題的總結(jié)和分析。具有一定潔凈度的潔凈室中氣流速度的確定因潔凈室的用途和其他具體情況而異。它不僅受室內(nèi)粉塵排放和過濾效率的影響，還受其他因素的影響。

就工業(yè)潔凈室而言，影響潔凈度和氣流速度選擇的主要因素有：

(1)室內(nèi)污染源：建筑構(gòu)件、人員數(shù)量和操作活動(dòng)、工藝設(shè)備、工藝材料和工藝本身都是粉塵排放源，根據(jù)具體情況變化較大；

(2)室內(nèi)氣流形態(tài)和分布：?jiǎn)蜗蛄鲃?dòng)要求流線均勻、均等，但會(huì)受到工藝設(shè)備的布置和位置變化、人員活動(dòng)等因素的干擾。形成局部渦流；非單向流動(dòng)需要填充和混合，以避免死角和溫度分層。