凈化等級(jí)一般分為100、1000、10000、100000。現(xiàn)在2010年的GMP凈化車間已經(jīng)不叫這個(gè)名字了，分為ABCD級(jí)，分別對(duì)應(yīng)98年的幾個(gè)等級(jí)。凈化等級(jí)由檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的塵埃粒子數(shù)、浮游菌數(shù)和平均沉降量來(lái)評(píng)價(jià)。每個(gè)等級(jí)都有不同的要求，凈化等級(jí)分為靜態(tài)和動(dòng)態(tài)兩個(gè)等級(jí)。

(1)潔凈室之等級(jí)世界的所有國(guó)家都有自己的規(guī)范，但通常使用美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209。以下是209D和209E與世界其他國(guó)家制定的標(biāo)準(zhǔn)的介紹和比較。209E和209D最大的區(qū)別是在209E指示單位上增加了公制單位，潔凈室等級(jí)用前綴M'表示，如M1、M1.5、M2.5、M3等。以此類推，符合國(guó)際公制單位的標(biāo)準(zhǔn)化，字母M后的阿拉伯?dāng)?shù)字表示為每立方米塵埃粒子數(shù)=0.5m的10次方。凈網(wǎng)z:Wg1pj美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D采用英制每立方英尺，日本采用公制，即以0.1m顆粒為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)符號(hào)由1級(jí)、2級(jí)、3級(jí)表示.八班。成績(jī)最好的是1班，最差的是8班。它是將每立方米的塵粒總數(shù)換算成10的次方，取其指數(shù)而得。

(2)潔凈室的定義潔凈室也叫潔凈室或潔凈室。“潔凈室”是指為清除一定空間范圍內(nèi)空氣中的顆粒、有害空氣、細(xì)菌等污染物，將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度及分布、噪聲、振動(dòng)、照明、靜電等控制在一定需求范圍內(nèi)而專門設(shè)計(jì)的房間。也就是說(shuō)，無(wú)論外界空氣條件如何變化，房間都能具有保持原有設(shè)定要求的潔凈度、溫度、濕度、壓力等性能的特性。潔凈室最重要的功能是控制產(chǎn)品(如硅片等)所處環(huán)境的潔凈度、溫度和濕度。)都是暴露的，這樣產(chǎn)品就可以在一個(gè)良好的環(huán)境空間里生產(chǎn)制造，我們稱之為“潔凈室”。(三)潔凈室控制的項(xiàng)目1。它可以清除空氣中漂浮的灰塵顆粒。2.它可以防止灰塵顆粒的產(chǎn)生。3.溫度和濕度的控制。4.壓力的調(diào)整。5.消除有害氣體。6.結(jié)構(gòu)和隔間的氣密性。7.靜電的預(yù)防和控制。8.防止電磁干擾。9.安全因素的考慮。10.節(jié)能的考慮。